实际上,陈昕用三年韶光才完成第一条G/I光刻胶产线的培植,G/I线只是光刻胶的低级水平,后来她用两年韶光又培植了一条作为高端品的KrF光刻胶产线。但是,该产品直到2021年才真正被大批量运用到中国半导体的8-12寸晶圆生产线...
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